对何振华来说,解决一微米制程的需求,远比铜导线要急迫的多,在车上,何振华都迫不及待的提出他们面临的困惑。
这些专业的问题,徐校长还有高所长是没办法加入讨论的。
“高压汞灯发射的紫外线有g线436纳米,i线365纳米,最理想的状态肯定是滤除g线,只保留i线,事实上i线占比太小,我们没办法得到足够功率的i线光源……”
研究光刻机的都知道,波长越短的光线,分辨率越高,这跟光的一项特性有关。
那就是双缝干涉,波长越长,干涉的缝间距越大。
365纳米的i线显然比436纳米的g线具备更大的优势。
但技术上达不到,也只能干瞪眼。
“试一试用水!”
“水?”
什么情况?何振华脑子一脸懵。
赵国庆说:“436纳米光线入水,速度降低大概33%,频率不变的情况下……”
“波长会变短!”何振华声音因为激动,音调变得很高,将所有人的目光吸引过来了。
“国庆,你真是个天才,我怎么没想到,按照这么来计算的话,在水中436纳米的波长,也就相当于326纳米的光线,比起i线365纳米更要优秀!”
赵国庆点点头,好吧,先让你兴奋兴奋,这是二十年后的技术,需要将整个工台浸到水里,光刻的过程也在水中进行。
需要高纯水,还要解决污染问题,相应的光刻胶稳定,介质也要解决,气泡怎么办?还有整个工台的防水处理。
这一個个问题可不怎么容易解决。
但提前二十年能进行浸润式光刻机方面的研究也不是坏事。
希望清大在这一块能有始有终吧。
浸润式光刻在193纳米深紫外线上还将爆发,因为193纳米深紫外线的折射率高达1.44,入水后波长只有134纳米,比起157纳米深紫光源更加优秀。
兴奋过后的何振华看向张朝新主任,微微点头。
眼神中在说:“你看人家简简单单一句话,为我们解决了一个大问题。”
张朝新也是技术出身,对光刻机光源这块的难度有深刻的体会。
光刻机光源难在光源发生器,一定要高功率的光源,能量不够的不行,其二就是棱镜,需要用棱镜的折射过滤掉其他波长的光线,不光在高精加工,还是材料这一块,难度都是顶级的,需要海量的基础物理研究和实验。
而现在,面前的小伙子简简单单一句话,就开辟了一个新思路。
都是道光线入水之后,波长变短,可谁也没想到用在光刻机上啊!
张朝新笑道:“他山之石,可以攻玉,小赵老师一句话,点醒梦中人啊!”
何振华又聊到铜导线技术。
赵国庆摇摇头:“铜导线工艺跟铝导线工艺完全不同,两者物理性质也大相径庭,我有一些思路,不过还需要经过物理方面的论证!”
“国庆,我们清大微电子有这个条件,你看……”
赵国庆很无奈,清大的功利性太强了,赵国庆感到,清大的目标也就是把1微米或者更短的制程能做出来,但对是否能商用话,并不是太关心。
当然这也是华国目前科研的特点,而且光刻机商业化应用,目前来看,几乎没有多少!
当然送上门去服务,赵国庆现在兴趣不大。
到了成飞,已经是下午,因为提前通知,成飞一干管理层大部分到场。
14所能把清大这个金凤凰引过来,成飞还是很重视的,一把手许官庄还有不少管理层、技术骨干都是出身在清大。
赵国庆一眼就看到赵中书,赵中书看到赵国庆也很高兴,双方握手见面后,赵中书立马把赵国庆拉到一边。
“走,小赵,跟我回办公室,给你看一些东西!”
“……”
赵国庆被弄的一头雾水。
待到赵中书拿出一叠叠照片给赵国庆看,赵国庆才明白,这是赵总师跟他展现考察成果呢!
“国庆啊,我后悔了,当时没有强烈要求你跟着去,伱要是去了,肯定会大开眼界,你看看这个是什么?”
赵中书指着一张照片问赵国庆。
赵国庆差点要笑出来,拿着照片做模做样的观察了一番,说:“这是一台机载雷达吧,图片上发射端子上没有接受的端子,我估摸着这是一台无源相控阵雷达,对了赵总师,你们看到有源相控阵雷达了吗?比这个更先进一些。”
“?”
“你怎么看出来是相控阵雷达的,你怎么知道有源还是无源,特么的,格鲁曼给我们看的不是最先进的啊,我就知道洋鬼子没那么好心思!”
赵国庆说:“相控阵雷达早在六十年代,毛熊就提出来了,用发射端的相位移动来叠加雷达波,从而控制雷达波的发射方向,我们国内现在还用的老式的多普勒雷达,发射雷达波还需要改变天线的方向,在战场上灵活度,确实不如相控阵雷达。”
“还真没有能难住你的!”赵中书紧盯着赵国庆,说:“国庆,那你说说,什么是有源,什么是无源相控阵?”
“赵总师,你别为难我了,我就是知道个大概,有源跟无源最大的区别就是接收端,无缘相控阵雷达是整体的接收器,有源相控阵雷达的每个发射端,同时也是雷达波的接收端,所以就跟苍蝇的复眼一样,对目标的探测更加精准!”
赵中书长呼一口气,摇摇头说:“还真不知道有什么能难得住你,既然你知道原理,能做吗?”
赵国庆想了想说:“赵总师,我觉得相控阵雷达最大的难点就是芯片,需要计算机控制几百个发射端发的雷达波,每个发射端的发射时间,相位、频率、波长都要精密控制,这样才能叠加成发散的脉冲雷达波……”
“那能不能做?”
赵国庆没说话,图纸能画出来,但是清大能不能把芯片做出来,他还真的没什么底气。
“说的再多也没用,做不出来都是白瞎!”
这话说的,赵国庆很不服气。
“赵总师,成飞要是能进口一台尼康的NSR-1010G光刻机,我就给你手搓一台相控阵雷达!”
“……”