几天之后。
由林晓发起的华芯盟内部会议即将召开。
作为华芯盟的理事会主席兼首席科学家,林晓如果有重要的事情,是完全有权力召开这场会议的。
当然,这次参加会议的人也很全,基本上是有时间来参加的都来参加了,华芯盟中的各个机构、企业等,都派人来参加了。
无他,他们的行业刚刚再次遭受国外的一次打击,虽然仅仅只是对光源以及光掩膜版的打击,但是却依然让所有人都感到了一种唇亡齿寒的感觉。
一个是光刻机重要部件,一个是光刻的重要耗材,特别是光掩膜版,更是特别重要,毕竟,光刻机的全名,就是叫做掩膜对准曝光机,掩膜版在其中占据着核心地位,而现在他们国内做不成掩膜版了,以后掩膜版都只能找国外进口,虽然说以前也基本上都是这样,但是国内损失的份额,却是实实在在的,等于说,钱都是让国外给赚了。
所以,这样一场会议,就给了他们一个倾诉的地方,寻求一种来自盟友给予的安心。
会议室中,已经坐了几十个人,这些人大多都带着愁容,特别是那些原来能够生产光掩膜版的,更是一脸悲伤,而全场中大概唯一显得有些高兴的,就是光电所的罗刚宪院士了,当然,过来参加会议的上硅产业总经理余建成也没有发愁,毕竟他们也不用担心被制裁,核心技术是自己的,当然没必要担心。
不过,他们两个人这么轻松的样子,还是吸引了其他人的注意。
“罗院士,真羡慕你们光电所。”
坐在罗刚宪旁边的人忍不住说道,这位是常春光机所的院士,叫王军。
“有什么羡慕的?”
罗刚宪摊了摊手,笑呵呵地说道:“大家都是在为国家办事的,没什么羡慕不羡慕的。”
王军说道:“你们的抛光技术啊,你们现在可都能够和蔡司公司相提并论了,牛逼的啊。”
“害,都是林晓教授的功劳,我可是没有提供半点作用。”罗刚宪摇摇头,说道:“最关键的是,以前我还算是凭借经验,能够称为国内顶尖的抛光大师吧,结果现在林教授就随便搞了一个理论,我的经验什么的就没有用武之地了,那离子束直接指哪打哪,压根不用我的判断了。”
说到这,罗刚宪又道:“当然,最关键的还是林晓教授的八分结构编码器,没有这个东西的话,精度更不上去,我们也没辙,不过说到这,你们光机所怕是更应该感谢林晓教授吧?如果没有林晓教授,你们的伺服电机恐怕都完全还是个问题吧?”
“说的是啊,但正因为这个原因,我们更希望能够得到林晓教授的帮助嘛。”王军摊了摊手说道:“我是搞半导体高功率激光技术的,现在他们在光源上对我们限制了,我们现在实验室都只能拿以前的东西研究了,我们现在实验的EUV光源功率才不到40W呢,现在准分子激光器又给限制了,现在又要从头研究准分子激光器,唉,难啊。”
“呵呵,说不定这次林教授找我们开会,就是打算解决这个问题呢?毕竟他两个周前找我们开会的时候,刚好是国外宣布加大制裁的时候嘛。”
“希望吧。”
王军摇摇头。
就在这个时候,门口进来了几个人,其中为首的,便是林晓。
林晓进入会议室后,便来到了首位上,说道:“让各位久等了,既然基本上都到了,那废话咱们不多说,本次内部会议正式开始,这次也算是我第一次召开这次内部会议。”
他微微一笑,随后说道:“那么这场会议,主要讨论的就是,在新制裁下,我们未来的半导体发展方向。”
听到林晓的话,在场的人都眼前一亮,立马认真了起来,对于在场的人来说,此时就需要一个主心骨,让他们看到成功的希望。
见到在场人们的反应,林晓笑了笑,而后也没有什么犹豫,直接给他们下了猛料:“我认为我们应该放弃EUV光刻机这条路。”
刚刚还无比期待的在场众人,听到这个消息顿时就惊呆了。
啥?
放弃EUV光刻机这条路?
您这是要破罐子破摔了吗?
在场的人无法理解林晓的这个决定。
有一位比较年老,看起来资历也比较高的业内人士立马表示了疑问:“林教授,对你的建议,我不反对,但是EUV光刻这条路已经可以证明是对的了,如果我们放弃的话,我们该往哪个方面发展?”
其他人也点点头,有人也说道:“总不能不搞芯片了吧?或者去搞碳基芯片?也没人说碳基芯片不要光刻机啊!”
“除非我们能搞出两位数的纳米级别打印技术,不然的话只能搞减材制造,不能搞增材制造,芯片这些都可以实现。”
在场的人基本都是科学家,都对这些技术问题有很多的认识,就比如碳基芯片。
所谓碳基芯片能够绕开光刻机,其实只是自媒体吹出来的,随便找个研究研究光刻机技术的学生,都会知道碳基芯片并非不如硅基芯片,也从来没有科学家表明不需要光刻机,碳基芯片的主要优势,还是在于碳基材料相对于硅基材料的优势,同规格的碳基芯片性能能够远超硅基材料,大概能够提高5-10倍,而功耗也能降低到原来的十分之一。
功耗问题是芯片界的一个关键问题,如何破解低制程芯片的高功耗问题,是一个十分关键的问题,这是限制芯片发展的最主要问题,就比如阿法狗和围棋冠军们下棋时,阿法狗的功耗可是高大20000W,这么高的功耗,都是为芯片运算供应的。
所以碳基芯片好,但是如何制备,仍然有着很多的问题。
至于3D打印技术,想要通过这种增材制造的方式制造芯片,那就更加不可能了,那至少还得经过很多年的发展,才能做到两位数纳米级别,现在的精度,也就仅限于微米级。
所以在场的人对于林晓要放弃EUV光刻这条路,产生了如此巨大的反响。
而林晓看着眼前这些专家们如此样子,却只是微微一笑。
看来又要来一场舌战群儒了。
当然,来就来吧。
而后,他开口道:“各位,你们所说的难点我都知道,当然,我也从来没说过要去搞碳基芯片,或者说是搞什么原子打印技术。”
“但是实现弯道超车,是我们必须考虑的一个方向。”
说到这,他顿了顿,说道:“国外长期占据着EUV、DUV光刻领域,对我们实行各种制裁,而他们又仗着手中有专利,对我们实行着各种各样的打压,而我们想要在这条直线上奋起直追,赶上他们,充满了艰难。”
“而且,就像有一句话说得好,直线谁不会加速啊?弯道快,才是真的快。”
“所以,我们在直线发力的同时,国外同样也在沿着这条直线发力着,那我们就不能放弃弯道超车的机会,至少在弯道上,国外领先我们的不是很多,但要是我们在弯道上也让国外给超过去了,未来,我们又得落后不知道多少年。”
听着林晓的话,在场的人都默默点点头。
对林晓的话,他们都十分的赞成。
落后的,就始终落后了,真想要实现追赶,很难很难,虽然有盾构机的例子在前,但是这样的例子却还是太少了。
所以他们只有寻找技术的弯道,才能实现追赶乃至超越。
“林教授,你说吧,你想搞的是什么?”
有人举手说道。
其他人也纷纷看向林晓,只要合理,他们都愿意努努力。
林晓一笑,说道:“我想搞的是,一个已经存在,只不过过去一直被我们所忽视的光刻工艺技术。”
“X光刻!”
底下的人顿时一片浮动,人们的脸上都露出了惊讶的表情。
林晓知道他们想说什么,X光作为光源的优缺点,在场的人都是行业内的人,当然都知道。
而后,林晓只是压了压手,让他们都安静下来,而后说道:“X光刻机的优缺点我们都清楚,优点,准直性好,没有衍射效应,不用担心光源功率的问题,不需要掩膜版,缺点,穿透性太强,不能用来大规模生产,导致其经济效益比较差。”
“所以,我们现在所需要解决的就是,大规模生产问题。”
“而关于大规模生产问题,我已经有了一个可行的方案。”
听到林晓这么说,在场的人顿时都是一愣。
用X光实现大规模生产?
要怎么做?
“我的方案就是,利用晶体X光衍射效应,实现对X光的放大和缩小。”
林晓刚说完,又立马伸出手压了压,因为他也清楚,自己说出这句话后又会给在场的人带来多大的惊讶,事实上在场的人们也确实因为他的话,而在一次躁动了起来。
好家伙,你都说了X光的优势是没有衍射效应,结果你现在又要让人家衍射?
虽然如果真的能够实现对X光的放大和缩小,那确实有很大的帮助,甚至他们原地就能给你造出个光刻机出来,因为X光刻机能够摒弃EUV光刻机中许多需要攻克的难题,以最简单的方式来实现,尤其是他们现在有了更加精密的伺服电机,在机械精度上也跟上了国外。
但是,问题就是你要如何实现?
林晓这次没有说话了,而是拿出电脑,开始给在场的人们展示他的PPT。
“控制X光的衍射,就需要我们控制衍射,也就意味着我们要寻找衍射的规律,那么,接下来我们就要涉及到量子力学中的理论了。”
说到这,林晓起身,来到了投影屏幕边,开口道:“可能要涉及到一点学术的话语,大家请谅解。”
“根据惠根斯-菲涅尔原理,我们可以正确地解释与计算波的传播,而惠根斯-菲涅尔原理,则可以视为空间的各向同性的后果,而量子电动力学中,空间的各向同性是其关键基础。”
【dψ(r)=-ψ0e^(ikr′)K(χ)dS/λRr′……】
“所以,我们可以从这一步入手。”
……
底下的绝大多数人都呆住了。
怎么一言不合,就给他们上起了课啊?
在场的人,此时人都傻了。
这里有很多科学家,但并不是每个科学家都懂量子力学。
就更不用说量子电动力学了。
比如余建成,他只是一个总经理而已,以前也是学材料的,哪懂这些东西啊?
光是看到前面几个公式,他就感到了一种回到了大学时代被物理、数学所支配的感觉。
最后,他放弃了,转头看向旁边的同僚,不知道啥时候已经拿出了手机,打起了麻将,牌面似乎还挺不错,要十三幺的节奏。
余建成拍了拍自己的脑袋,想什么呢,他开口道:“你不看林教授讲的东西吗?”
“你看得懂?”这人反问一句。
“呃,看不懂。”余建成摊手,又问道:“林教授不是说涉及一点学术语言吗?我怎么感觉他说的都是学术语言?”
“什么一点,明显是亿点,一万乘一万的那个亿。”
余建成:“……”
当然,在场中的人也还是有能够理解的科学家的,尤其是在场研究光学的专家很多,比如那位常春光机所的王军院士,他研究的也是光学的东西,对衍射干涉什么的都听得懂。
他凝着眉头,听着林晓的讲述,林晓的论证深入浅出,虽然涉及到了量子力学的内容,更是包括了量子电动力学,不过这些他都有些研究。
唯一让他感到有些复杂的就是林晓在计算中得到的那些公式。
他的数学能力虽然比起其他人来说要厉害不少,但是相对于林晓来说,显然就不行了,甚至可以说弱。
当然,所幸的是林晓对于他的那些公式什么的都进行了一个完整的讲述,没有直接用“显而易见”、“众所周知”等这类词语直接跳过。
所以,王军只要跟上思路,还是能听懂的。
而随着林晓讲得越来越深入,他的目光中就陡然亮了起来。
似乎,这真的是能够解释衍射本质的方法?!8)